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国内首台化学机械抛光设备面世

发布时间:2023-01-23 00:58:19 来源:欧宝哪里注册

  该设备的研制成功,填补了我国IC设备制造业0.25μm/6~8英寸晶圆片平整化设备的空白,关于提高我国集成电路的全体研制水平缓工业中心竞争力有着十分重要的现实意义。

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